而之所以全球仅此一家,这是因为ASML将很多关键的厂商在了一起,比如德国光学公司蔡司(Zeiss),再比如美国的Cymer,再比如德国的通快集团(TRUMPF)等。
ASML通过投资、收购、占股,建立研究中心等等方式,将这些厂商绑在了自己的战车上,而这些厂商,可能是全球唯一能够生产这些产品的厂商,所以最终全球仅ASML一家能够生产EUV光刻机。
不过,近日,ASML的一家关键供应链,跑到中国深圳来建厂了,其深圳子公司落户宝安中德(欧)产业示范园。
这家厂商就是德国的通快集团(TRUMPF),它是ASML的EUV光刻机中,全球唯一一家激光源供应商。
EUV光刻机的原理,说起来很简单,核心是三大系统,EUV紫外线光源系统、物镜系统、工作台系统。
具体的过程是利用激光器激发出13.5nm波长的极紫外线,然后经过矫正后形成一束可控的光,再将这一束光投射到光掩膜台后,再经过物镜投射到曝光台,最后在涂了光刻胶的硅晶圆上蚀刻出电路。
其中EUV紫外线光源系统是如何得到的,是用30千瓦功率的二氧化碳激光器轰击锡(Sn)金属液滴,将其蒸发成等离子体,最后获得13.5nm波长的EUV光线。
别小看了这个二氧化碳激光器,它有457,329个部件,系统内的线千克,是EUV光刻机中,最重要的核心元件之一。
如今TRUMPF跑到中国来建厂,意图很明显,那就是看好中国的激光市场,甚至更长远一点来看,看好中国光刻机市场,未来有可能和中国合作造出EUV光刻机。
事实上,目前已经不止一家ASML的供应链跑到中国来建厂了,之前还有KMWE等厂商,也到中国来建厂了。
按照现在这种趋势,我们可以乐观的预计一下,说不定要不了多久,中国的光刻机技术会大进一步,甚至量产出EUV光刻机,也是可以期待一下的,你觉得呢?