产品概述

 

　　而之所以全球仅此一家，这是因为ASML将很多关键的厂商在了一起，比如德国光学公司蔡司（Zeiss），再比如美国的Cymer，再比如德国的通快集团（TRUMPF）等。

　　ASML通过投资、收购、占股，建立研究中心等等方式，将这些厂商绑在了自己的战车上，而这些厂商，可能是全球唯一能够生产这些产品的厂商，所以最终全球仅ASML一家能够生产EUV光刻机。

　　不过，近日，ASML的一家关键供应链，跑到中国深圳来建厂了，其深圳子公司落户宝安中德（欧）产业示范园。

　　这家厂商就是德国的通快集团（TRUMPF），它是ASML的EUV光刻机中，全球唯一一家激光源供应商。

　　EUV光刻机的原理，说起来很简单，核心是三大系统，EUV紫外线光源系统、物镜系统、工作台系统。

　　具体的过程是利用激光器激发出13.5nm波长的极紫外线，然后经过矫正后形成一束可控的光，再将这一束光投射到光掩膜台后，再经过物镜投射到曝光台，最后在涂了光刻胶的硅晶圆上蚀刻出电路。

　　其中EUV紫外线光源系统是如何得到的，是用30千瓦功率的二氧化碳激光器轰击锡（Sn）金属液滴，将其蒸发成等离子体，最后获得13.5nm波长的EUV光线。

　　别小看了这个二氧化碳激光器，它有457,329个部件，系统内的线千克，是EUV光刻机中，最重要的核心元件之一。

　　如今TRUMPF跑到中国来建厂，意图很明显，那就是看好中国的激光市场，甚至更长远一点来看，看好中国光刻机市场，未来有可能和中国合作造出EUV光刻机。

　　事实上，目前已经不止一家ASML的供应链跑到中国来建厂了，之前还有KMWE等厂商，也到中国来建厂了。

　　按照现在这种趋势，我们可以乐观的预计一下，说不定要不了多久，中国的光刻机技术会大进一步，甚至量产出EUV光刻机，也是可以期待一下的，你觉得呢？

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